PLASMA-PREEN等离子清洗/蚀刻系统是一台台式微波等离子清洗机设备。PLASMA-PREEN等离子清洗机系统融合了下面的特点,并在众多的应用领域中得到肯定:
特点: 应用:
价格合理 打线垫清洗
高功率 清洗Pd-Ag裸芯片垫
电子数控 清洗镀金部件
负载循环控制 环氧溢出物去除
模拟功率控制 去除光刻胶
处理机存储 清洗陶瓷基片
水冷底座 清洗玻璃部件
工作功率 2.45 GHz 清洗光学部件
减少污水排放 清洗半导体表面
安全保护设计 塑胶密封剂去除--失效模式分析 塑料表面上胶处理
操作简便 清洗镀银部件
维护方便 减少金属氧化物
性能稳定 去除油渍或是环氧残留物
*专利保护 #典型的台式微波等离子清洗/蚀刻机
PLASMA-PREEN 等离子清洗/蚀刻系统技术参数:
PLASMA-PREEN 等离子清洗/蚀刻系统有三款不同机型. 款是圆筒型反应舱系统。***款是水冷式设备,反应舱尺寸为