加工定制:否 | 品牌:LAURELL | 型号:WS-650MZ-8NPPB |
测量范围:10-200mm | 测量精度:0.006% | 分辨率:±0.5rpm |
电源电压:220 | 用途:匀胶 |
Spin Processor匀胶旋涂仪
MYCRO公司提供美国***匀胶旋涂仪,请您放心选购!
MYCRO美国***的旋涂仪,自1985年开始,我们便为提供化工半导体材料清洁涂敷处理等特殊工艺。公司拥有WS系列各类旋转涂敷系统,目前客户已遍布全球。
匀胶机有很多种称谓,英文叫Spin Coater或者SpinProcessor,又称甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机/旋转涂层仪、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪、旋转涂膜仪、匀膜机旋涂仪
自1985 年起,我们向遍布全球的生物化工和半导体材料科研领域的实验室提供表面涂敷工艺的解决方案,目前,全世界有超过12000套系统正在安全运行。
适用旋涂材料的尺寸范围
WS-650-23 标配为10mm 可选配到3mm或5mm 6英寸(150mm)直径圆片或5x5英寸(125mm)边长方片
WS-650-8 标配为10 mm 可选配到3mm或5mm8英寸(200mm)直径圆片或7x7英寸(175mm)边长方片
WS-650-15 标配为10mm 可选配到3mm或5mm12英寸(300mm)直径圆片或9x9英寸(225mm)边长方片
WS-650-X 标配为10 mm 可选配到3mm或5mm可根据用户特殊要求订制设备
安全设计
保护气流构造
旋涂过程中可以充氮气和氩气,对旋转马达进行气流保护 ;
防止飞片设计
嵌锁的安全盖板;盖板锁定后才可以启动旋涂作业; 电子绝缘负载双保护;
防腐构造设计;
***650型高性能数显控制器。非常方便设定处理速度和加速度程序段;可设置顺序循环控制;控制精度
数显控制器采用高位计数光学编码器输出,高精度密封循环伺服控制器,经美国***研究院NIST认证,实时显示精度控制在设定值的0.006%以内(美国NIST激光测量器件的极限值)。系统无需重复校准!
操作者可随时随地自由实现人机交互;
设备运转进程中,可随意向前,向后或者往返跳跃操作步骤;
循环指令,并可以重复操作(多达255次);
在运转模式下也可以实时改变速度和加速度;
包含PC程序端接口;
可视化操作模型(化学试剂,传感器所见即所得的操作界面);
故障报警装置(可形象显明故障发生位置);
加速度的最小分辨率为 1 RPM/S;
宽广的速度设定范围(1~12000RPM);
需要更详细的等离子体表面处理仪资料咨询,
迈可诺技术有限公司
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