| 产品特性：不锈钢材质 | 是否进口：否 | 产地：国产 |
| 加工定制：否 | 类型：线上前处理 | 品牌：MYCRO |
| 型号：PT3000 | 产品用途：表面清洗 | 产品别名：表面键合机 |
| 外形尺寸：500mm*525mm*365mm | 重量：38kg | 规格：套 |
等离子清洗机是一款专门针对科研院所研制的小批量样品表面处理设备，利用真空环境产生等离子体去处理样品的表面，达到常规清洗方法无法达到的效果。具有设备小巧，真空腔容量大，适用于实验室环境；清洗过程不会产生高温，避免产品产生热变形；可以处理各种各样的材质，如金属、半导体、氧化物或高分子材料，应用广泛。
特点：
采用射频电源、自动匹配器，一键式操控
低温等离子体，能量低、密度高，适合处理特殊材料
无环境污染、无化学品消耗
可处理形状复杂的材料，材料表面处理的均匀性好
适用性广，各种材料、形状都可以处理
腔体材质 铝合金
供电电源 AC220V、1000W
溅射电压：MAX 2500V
溅射电流：MAX 30mA
靶材尺寸：直径57mm，厚度0.1~0.5mm
电源功率 0-300W可调
射频频率 13.56MHz
真空度 ≤100Pa
气体路数 2路
气体流量 MFC气体质量流量计 500SCCM（可调）
控制 触屏
清洗时间 1-6000s连续可调
处理尺寸：≤4寸
内腔尺寸 Φ147mm*145mm（直径*深）
外形尺寸 500mm*525mm*365mm（宽*深*高）
重量 ≈38KG
真空泵 爱特VRD-4
